Im Gegensatz dazu stehen die Low-k-Dielektrika, die als Isolator zwischen den Leitbahnen eingesetzt werden und durch ihre niedrige Dielektrizitätszahl die entstehenden parasitären Kapazitäten verringern. == Materialien == Es werden verschiedene Materialsysteme untersucht, wie amorphe Oxide von Metallen (z. B. Al2O3, Ta2O5),Übergangsmetallen (z...