Als Nanolithographie bezeichnet man Verfahren, die sich prinzipiell zur Erzeugung von Strukturen in der Größenordnung weniger Nanometer eignen. Dazu gehören beispielsweise die EUV-, Elektronenstrahl- und Nanoprägelithografie. Sie werden dort eingesetzt, wo eine Strukturierung mithilfe konventioneller Fotolithografie nicht mehr möglich ist, un...