
Der englische Begriff dual stress liner (DSL) bezeichnet in der Halbleitertechnik eine Verfahren zur Herstellung von verspanntem Silizium (engl. strained silicon) für p- und n-Kanal-MOSFETs in Silocon-on-Insulator-Technologien. Das von IBM entwickelte Verfahren kommt durch die Technologieaustauschabkommen wird/wurde unter anderem bei AMD/Globalfo...
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https://de.wikipedia.org/wiki/Dual_Stress_Liner
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