Der Inhaber einer Kantonalpfarrei trug den Titel eines Oberpfarrers. Entstanden ist der Titel, nachdem das Rheinland 1794 durch Frankreich besetzt worden war. Im Jahr 1801 wurde durch Napoleon das Bistum Aachen erstmals errichtet. Die linksrheinischen Teile des Erzbistums Köln, die schon vorher dem französischen Staat angegliedert worden waren, ...
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https://de.wikipedia.org/wiki/Oberpfarrer
[Achtung: Schreibweise von 1811] Der Oberpfarrer, des -s, plur. ut nom. sing der oberste Pfarrer an einer Kirche unter mehrern; der Oberpriester.
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https://lexika.digitale-sammlungen.de/adelung/lemma/bsb00009133_3_0_131
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