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Mitteltemperatur CVD Bedeutung
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Mitteltemperatur-CVD
CVD-Prozeß im Temperaturbereich 500-800° C. Typische Prozesse sind die Abscheidung von amorphem und von polykristallinem Silizium für die Mikroelektronik und die Solartechnologie.
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
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CVD-Prozeß im Temperaturbereich 500-800° C. Typische Prozesse sind die Abscheidung von amorphem und von polykristallinem Silizium für die Mikroelektronik und die Solartechnologie.