Aus der obigen Gleichung lassen sich folgende Vorteile der Ellipsometrie gegenüber reinen Reflexionsmessungen ableiten, bei denen nur der Reflexionsgrad R gemessen wird: == Aufbauvarianten und Einteilung == Die Ellipsometrie kann zum einen nach der verwendeten Wellenlänge und zum anderen nach dem benutzten ellipsometrischen Verfahren eingeteilt ...
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https://de.wikipedia.org/wiki/Ellipsometrie
Die Ellipsometrie ist als zerstörungsfreies Prüfverfahren zur Schichtdickenmessung in der Oberflächen- und Schichttechnik unverzichtbar. Ausgenutzt wird dabei das unterschiedliche Reflexionsverhalten des einfallenden Lichtes. Ellipsometrie kann bei verschiedenen Wellenlängen und ...
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