Die Rotationsbeschichtung (engl. spin coating auch spin-on) ist ein Verfahren zum Auftragen dünner und gleichmäßiger Schichten bzw. Filme auf einem Substrat. Zum Aufschleudern eignen sich alle in Lösung vorliegenden Materialien, wie der in der Mikroelektronik verwendete Fotolack. ==Prozessablauf== Das Substrat, oft ein Wafer, wird auf einem Dr...