RCA-Reinigung (engl. RCA clean) – sehr selten auch modifizierte Huang-Reinigung – ist Verfahren zur Scheibenreinigung (Wafer-Reinigung) in der Mikroelektronik. ==Entwicklung== Der nasschemische Reinigungsprozess wurde in den 1960er Jahren durch W. Kern und D. Puotinen im Auftrag der Radio Corporation of America (RCA) entwickelt und 1970 erstma...