Parylene sind inerte, hydrophobe, optisch transparente, polymere Beschichtungsmaterialien mit einem weiten industriellen Anwendungsspektrum. Neben dem Kohlenwasserstoff Poly-p-xylylen finden auch halogenierte Polymere Anwendung. Die Beschichtung wird im Vakuum durch Kondensation aus der Gasphase als porenfreier und transparenter Polymerfilm auf da...