Würtlich: Nanoprägung, Nanostempelung. Ein Lithographieverfahren zur Herstellung extrem kleiner Strukturen für die Halbleiterherstellung. Es beruht darauf, dass man extrem kleine Stempel (Nanostempel) bildet, die sich in einer Prägeschicht durch ...
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https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=N&id=26431&page=1
wörtlich: Nanoprgung, Nanostempelung. Ein Lithographieverfahren zur Herstellung extrem kleiner Strukturen für die Halbleiterherstellung. Es beruht darauf, dass man extrem kleine Stempel (Nanostempel) bildet, die sich in einer Prgeschicht durch Einprgen abformen. Diese lässt man mittels UV-Strahlung aushrten. Das Ergebnis sind ...
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