Nanoimprinting

Wrtlich: Nanoprgung, Nanostempelung. Ein Lithographieverfahren zur Herstellung extrem kleiner Strukturen fr die Halbleiterherstellung. Es beruht darauf, dass man extrem kleine Stempel (Nanostempel) bildet, die sich in einer Prgeschicht durch Einprgen abformen. Diese lsst man mittels UV-Strahlung aushrten. Das Ergebnis sind ...
Gefunden auf http://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=N&id=26431&page=1

Nanoimprinting

Würtlich: Nanoprägung, Nanostempelung. Ein Lithographieverfahren zur Herstellung extrem kleiner Strukturen für die Halbleiterherstellung. Es beruht darauf, dass man extrem kleine Stempel (Nanostempel) bildet, die sich in einer Prägeschicht durch ...
Gefunden auf http://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=N&id=26431&page=1
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