Subst. (molecular beam epitaxy) Ein Verfahren, das man bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen - etwa integrierten Schaltkreisen - einsetzt. Eine Epitaxial-Schicht ist eine dünne Schicht aus Halbleitermaterial. Ein Gerät, das derartige Schichten mit Hilfe der Molekularstrahl-Epitaxie erzeugt, verdampft das Material und leitet den Molekular...