Maskentechnik, Halbleitertechnik, Mikrotechnik: Verfahren der Lithografie, bei dem im Gegensatz zu direkt schreibenden Methoden Masken zur ûbertragung der Strukturen auf das Halbleitersubstrat (Halbleiterscheiben oder Wafer) verwendet werden. Gefunden auf https://www.enzyklo.de/Lokal/42134
Maskentechnik, Halbleitertechnik, Mikrotechnik: Verfahren der Lithografie, bei dem im Gegensatz zu direkt schreibenden Methoden Masken zur ûbertragung der Strukturen auf das Halbleitersubstrat (Halbleiterscheiben oder Wafer) verwendet werden.