(magnetron sputering). Ein Zerstubungsverfahren zu Herstellung von Dnnschichten. Hierbei wird das Dnnschichtmaterial (das so genannte Target) in verdnnter Edelgasatmosphäre mit hoch beschleunigten Ionen beschossen, die das Material zerstuben (die positiven Ionen sind zuvor durch Gasentladung freigesetzt). Das zerstubte Mater...