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Hochtemperatur CVD Bedeutung
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Hochtemperatur-CVD
Üblicher CVD-Prozeß, findet bei Temperaturen um 1000° C statt. Relativ dichte Schichten, Anwendungen als Verschleißschutzschichten und im Korrosionsschutz.
Gefunden auf
https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
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