
Flüssigphasenepitaxie ({EnS|liquid phase epitaxy}, LPE) ist ein chemisches Epitaxieverfahren, zur Herstellung von einkristallinen dünnen Schichten auf einem einkristallinen Substrat aus einer Lösung. == Funktionsweise == Für die Flüssigphasenepitaxie gibt es mehrere verschiedene Ausführungen von Vorrichtungen (z. B. das Kippverfahren), in de...
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https://de.wikipedia.org/wiki/Flüssigphasenepitaxie
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