Carbonylfluorid ist die gebräuchlichste Bezeichnung für Kohlenoxiddifluorid, CF2O, dem Difluorid der Kohlensäure. Es ist das Fluor-Analogon des Phosgens. == Eigenschaften == == Entstehung == == Verwendung == Carbonylfluorid ist als neues Ätzgas in der Halbleitertechnik und für die Reinigung von CVD-Reaktoren vorgeschlagen worden . Im Laborma