Das Vakuum wird technisch in verschiedene Bereiche aufgeteilt: Grobvakuum: Atmosphärendruck ... 1 mbar (100 kPa ... 100 Pa) Feinvakuum: 1 mbar ... 10-3 mbar (100 Pa ... 10-1 Pa) Hochvakuum: 10-4 mbar ... 10-7 mbar (10-1 Pa ... 10-5 Pa) Ultra-Hochvakuum: < 10-8 mbar (< 10-6 Pa)