Sammelbegriff für eine Reihe von industriellen Anwendungen von Plasmaverfahren. Hierzu gehören u.a.: Ätzen von Halbleiterchips, Abscheiden von Silizium für Solarzellen, Abscheiden von Siliziumdioxid zur Passivierung von Oberflächen, Aktivieren von Oberflächen, Schmelzen und Schweißen mit Lichtbögen sowie der...