Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff, konkret ist damit meist Chemical-dry-etching-Verfahren (CDE) gemeint. == Funktionsw...
Gefunden auf
https://de.wikipedia.org/wiki/Plasmaätzen
Abtragetechnik, am Substrat entsteht durch Wechselwirkung mit dem Plasma ein flüchtiges Reaktionsprodukt. Die Wechselwirkung kann reaktiv sein (Reaktives Plasmaätzen) oder physikalischer Natur (Zerstäuben der Oberfläche). Dadurch Materialabtrag am Substrat. Vielfach in der Halble...
Gefunden auf
https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
Ein Trockenätzverfahren, bei dem reaktive Atome oder Ionen (z.B. Sauerstoff, Chlor, Fluor)in einer (meistens mit Hochfrequenz betriebenen) Gasentladung erzeugt werden. Beim Ätzen mit Ionen macht man sich zunutze, daß diese im Randbereich gerichtet zwischen Plasma und Substrat beschleunigt werden und tiefe Gräben mit steilen ...
Gefunden auf
https://www.enzyklo.de/Lokal/42770
Keine exakte Übereinkunft gefunden.
