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Niedertemperatur CVD Bedeutung
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Niedertemperatur-CVD
CVD-Prozeß im Temperaturbereich unter 500° C. Anwendungen z.B. zur Beschichtung mit Oxiden in der Chipherstellung, Verarbeitung reaktiver Werkstoffe möglich.
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
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