Ein Nanopositioniersytem ist eine Stellmechanik, die in der Lage ist, Positionen mit Nanometerauflösung oder darunter wiederholt anzufahren. Es besteht in der Regel aus einem Aktor, der die Verschiebung bewerkstelligt, einem Wegmesssystem, das die Ist-Position bestimmt sowie einer Positionsregelungselektronik. Als Antriebe eignen sich beispielswe...