(MBE) Molekularstrahl-Epitaxie. Ein Schichtaufbauverfahren mittels Molekularstrahlen, die Halbleitermaterial, Oxid oder Metall in einer dnnen przise bemessenen Schicht aufdampfen. Gefunden auf https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=M&id=17117&page=1