Die Mikrosystemtechnik (MST, engl. micro systems technology), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen. Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System...
Gefunden auf
https://de.wikipedia.org/wiki/Mikrosystemtechnik
Mikrosystemtechnik: Mikrosystem, bestehend aus Mikroprozessor sowie Sensor und Aktor Die Mikrosystemtechnik ermöglicht nicht allein eine Verkleinerung von Baugruppen und Funktionseinheiten, sondern durch die Miniaturisierung werden bestimmte Effekte erst zugänglich gemacht und und neue Anwendung...
Gefunden auf
https://www.enzyklo.de/Lokal/42134
ein Technologiezweig, der die Herstellung mikroskopisch kleiner mechanischer oder elektromechanischer Bauteile (Teilgebiet Mikromechanik) und ihre Kombination mit mikroelektronischen Schaltkreisen, optischen Elementen und Sensoren auf der Basis von einkristallinem Silicium zum Ziel hat. Wesentlich ist, dass die Funktionen des Mikrosystems eigenstï¿...
Gefunden auf
https://www.wissen.de//lexikon/mikrosystemtechnik
Keine exakte Ãœbereinkunft gefunden.
