
Die Mikromechanik ist der Bereich der Mikrosystemtechnik, der sich mit Konstruktion, Herstellung und Anwendung mechanischer Bauelemente mit Abmessungen von wenigen bis mehreren 100 µm befasst. Man unterscheidet einfache Strukturen (z. B. Gitter, Löcher, Kanäle), Sensoren, Aktoren (z. B. Relais, Schalter, Ventile, Pumpen) und Mikrosysteme (Mikro...
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https://de.wikipedia.org/wiki/Mikromechanik

Mikromechanik, Forschungsgebiet, das sich mit der Herstellung von Mikrostrukturen und -systemen befasst, die eine mechanische Funktion erfüllen. Mikromechanische Strukturen werden mit Methoden der Mikrotechnik hergestellt und weisen eine hohe Präzision auf. Sie dienen entweder als Haltestrukture...
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