Kathodenzerstäubung: Schema der Apparatur für die Kathodenzerstäubung Kathodenzerstäubung, das Herausschlagen (Sputtern) von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Das zerstäubte Metall schlägt sich im Entladegefäß als gleichmäßige Schicht niede...
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42134
Verfahren zur Herstellung sehr dünner Metallüberzüge. Die Gasionen, die bei einer elektrischen Gasentladung auf die Kathode aufprallen, zerstäuben das Kathodenmaterial, das sich dann an anderen Stellen (z. B. an der Gefäßwand) als dünne kristalline Schicht niederschlägt.
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https://www.wissen.de//lexikon/kathodenzerstaeubung
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