Verfahren für die Herstellung dnner Schichten. Zunächst werden die Ionen in einer Ionenquelle erzeugt und als geBündelter Strahl auf ein im Hochvakuum befindliches Target gerichtet. Die hierbei frei werdenden Atome lagern sich auf einem hinter einer Maske befindlichen Substrat als Metallfilm ab. S.a. Ionenzerstubung, Kathodenz...