Oberflächenmodifizierung oder -beschichtung unter Einfluß von geladenen Teilchen (Ionen) hoher Energie (keV bis MeV). Erzeugung von Schichten mit guter Haftung am Substrat, sehr gute Formtreue der Beschichtung, Niedertemperaturverfahren, gelten aber als kostenaufwendige Verfahren, Beschichtung ...