Ein Bubbler bzw. Bubbler-System, manchmal auch als Dampfdrucksättiger bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD). Sein Zweck ist es dabei, die als Ausgangsstoffe (Prekursoren) verwendeten metallorganischen Verbindungen in einen gesättigten Dampf zu überführen und diesen mithilfe v...