Drucksensor auf piezoresistiver Basis, der durch Dotieren und stufenweises Ätzen aus Silizium herausgearbeitet wurde und der alle Komponenten, wie z.B. Kompensationswiderstände und Messverstärker in integraler Form enthält. - 2205/2003-01-09 Zu diesem Begriff gehörende Datenbanks...