(submicron technology) Die Technologie, die es Anfang der 90er Jahre müglich gemacht hat, Halbleiter-Strukturbreiten von weniger als 1 üm herzustellen. Hierdurch stieg der Integrationsgrad weiter.
(submicron technology) Die Technologie, die es Anfang der 90er Jahre möglich gemacht hat, Halbleiter-Strukturbreiten von weniger als 1 m herzustellen. Hierdurch stieg der Integrationsgrad weiter.