Das Sputtern (aus dem Englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen) herausgelöst werden und in die Gasphase übergehen. Unter dem Begriff Sputtern wird meistens nu...
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https://de.wikipedia.org/wiki/Sputtern
PVD-Verfahren, Zerstäubung des Targets durch hochenergetische Teilchen, typischerweise mit Energien im Bereich keV. Die aus dem Target herausgelösten Teilchen schlagen sich am Substrat nieder und bilden die Schicht. Erzeugung dichter, glatter Schichten, relativ niedrige Beschichtungsrate m...
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
Sputtern a Ein beschleunigtes Ion trifft auf die Targetoberfläche. b Durch einen elastischen Stoß... Sputtern das, Methode zur Zerstäubung von Festkörpern im Hochvakuum, bei der durch Beschuss eines negativen Targets mit Ionen (vorwiegend Edelgasionen von einigen Kiloelektronvo...
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42134
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