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Reaktives Ionenstrahlätzen Bedeutung
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Reaktives Ionenstrahlätzen
Abtragetechnik, Zerstäuben der Substratoberfläche durch energetische Ionen, die gleichzeitig mit der Substratoberfläche zu flüchtigen Produkten reagieren.
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
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