(planetary reactor) Ein Reaktor zur Herstellung von Halbleiterscheiben (Wafern), in dem die Scheiben auf einzelnen Tellern entstehen, die auf einem Planetengetriebe um den Reaktorkern rotieren.
(planetary reactor) Ein Reaktor zur Herstellung von Halbleiterscheiben (Wafern), in dem die Scheiben auf einzelnen Tellern entstehen, die auf einem Planetengetriebe um den Reaktorkern rotieren.