Unter dem Begriff Mehrfachstrukturierung ({enS|multiple patterning}) werden in der Halbleitertechnik verschiedene fotolithografische Verfahren für die Herstellung sehr dichter und kleiner Strukturen zusammengefasst. Die einfachste und derzeit hauptsächlich eingesetzte Variante ist die Doppelstrukturierung (englisch double patterning). Sie wird e...