(linear stage) Eine Mikropositioniereinrichtung, die ein Objekt (nahezu) stufenlos platzieren kann. Der Mikrobewegungsweg ist au?erdem proportional mit dem Steuersignal, so dass der L. ein lineares Verhalten aufweist.
(linear stage) Eine Mikropositioniereinrichtung, die ein Objekt (nahezu) stufenlos platzieren kann. Der Mikrobewegungsweg ist au?erdem proportional mit dem Steuersignal, so dass der L. ein lineares Verhalten aufweist.