Bei der FBAR-Technologie ({enS|(Thin) Film Bulk Acoustic Wave Resonator}), die von der Firma Agilent Technologies entwickelt wurde, werden Resonator-Elemente auf einem Silizium-Die implementiert. Die Funktionsweise ist mit der eines Oberflächenwellenfilters (SAW-Filter) vergleichbar, jedoch mit dem Unterschied, dass bei der FBAR-Technik die Ausbr...