Atomlithografie, Atomstrahllithografie, die Herstellung von Strukturen integrierter Halbleiterbauelemente mit Methoden der Atomoptik. Wegen der im Vergleich zur Lichtwellenlänge kleineren Materiewellenlänge von Atomstrahlen lassen sich mit der Atomlithografie Nanostrukturen unterhalb von 100 nm hers...