Die VLS-Mechanismus (VLS von {enS|vapor liquid solid}, dt. Dampf Flüssigkeits Feststoff-Methode) ist ein Verfahren für die Herstellung von eindimensionalen Strukturen wie Nanodrähten (im englischen oft whisker, dt. Schnurrbart, genannt) mit Hilfe der katalysatorgestützten chemischen Gasphasenabscheidung (CVD). == Geschichte == Der VLS-Mechanis...