Das Tolansky-Verfahren, benannt nach dem Physiker Samuel Tolansky, ist ein Verfahren zur Schichtdickenmessung. Es beruht auf dem Prinzip der Interferenz. Bei der Betrachtung eines Interferenzmusters unter monochromatischem Licht wird dabei der Abstand der Interferenzstreifen und der Versatz der Inteferenzstreifen an einer Kante der Schicht gemesse...