sccm steht für Standardkubikzentimeter pro Minute. Unabhängig von Druck und Temperatur wird mit dieser Einheit eine definierte strömende Gasmenge (Teilchenzahl bzw. Gasmasse) pro Zeiteinheit beschrieben. Der Standardkubikzentimeter ist ein Gasvolumen von V = 1 cm³ unter Normbedingungen (T = 0 °C und p = 1013,25 hPa) den sogenannten physikalis...