Zerstubungstechnik zur Herstellung dnner Schichten. Bei der P. schlagen in verdnnter Edelgasatmosphäre durch Gasentladung entstandene positive Ionen nach Beschleunigung durch ein elektrisches feld Atome aus einer Kathode. Diese Atome lagern sich an der Oberfläche dnner Dielektrika ab und bilden darauf einen Metallfilm. S.a. I...