Bei der Erzeugung von Plasmen mittels elektrischer Entladungen reicht das Spektrum von Gleichstrom- über Wechselstrom- und Hochfrequenz- bis hin zu Mikrowellenentladungen. Weil mit steigender Anregungsfrequenz z.B. auch die Realisierung höherer Ionendichten möglich ist, werden zunehme...