(phase shift mask) Eine Vorrichtung für die optische Nahbereichskorrektur. Die P. erreicht, dass sich die Lichtwellen nach dem Durchgang durch die Masken so überlagern, dass sie genau das gewünschte Bild erzeugen. Die Maske wirft also keinen Scha...
Gefunden auf
https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=P&id=18151&page=1
(phase shift mask) Eine Vorrichtung für die optische Nahbereichskorrektur. Die P. erreicht, dass sich die Lichtwellen nach dem Durchgang durch die Masken so überlagern, dass sie genau das gewünschte Bild erzeugen. Die Maske wirft also keinen Schatten mehr, sondern »steuert« das Licht.
Gefunden auf
https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=P&id=18151&page=1
Keine exakte Übereinkunft gefunden.
