Monosilan ist der einfachste Vertreter der Silane (auch Siliciumwasserstoffe genannt). == Chemische Eigenschaften == Die UN-Nummer von Monosilan ist 2203, der Gefahrzettel 2.1. == Herstellung von Monosilan == bzw. auf der Dismutation von Hydrogenchlorsilanen, wie z. B. Trichlorsilan. == Verwendung == Monosilan wird zur Abscheidung von Silizium- Si...