Mikroventile sind Ventile, deren Dimensionen sich im Mikrometerbereich befinden. Mikroventile sind wichtige Bauteile der Mikrofluidik und finden auch Verwendung in Mikrosystemen. == Aufbau, Funktion und Anwendung == Mikroventile werden meist auf Basis von einkristallinem Silizium gebaut (meist 4-Zoll- oder 6-Zoll-Wafer, also kleiner als sie in der...