Das Lift-off-Verfahren ({enS|lift-off technique} oder auch pattern-transfer technique, dt. ‚Musterübertragungstechnik‘) ist in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik ein Herstellungsverfahren von strukturierten dünnen Schichten auf der Oberfläche eines Substrats (z. B. Wafer). Bei dem additiven, d. h. aufbauenden, Verfahren wird das Zielmat...