Die Ionendünnung ist ein häufig angewandtes physikalisches Verfahren, das zur Strukturierung meist elektrischer Bauelemente, sowie zum Herstellen dünnster Proben angewendet wird. Es handelt sich hierbei um ein Trockenätzverfahren. Andere Bezeichnungen sind Ionenätzen, Ionenstrahlätzen oder {EnS|ion milling}. Bei definiert gebündeltem Ionens...