Ein Helium-Ionen-Mikroskop (auch: Scanning Helium Ion Microscope, SHIM) ist ein bildgebendes Verfahren, welches darauf basiert, dass ein Helium-Ionen-Strahl das zu untersuchende Objekt abtastet. Das Verfahren ähnelt dem eines Rasterelektronenmikroskops. Entwickelt wurde das Helium-Ionen-Mikroskop von der US-amerikanischen Firma ALIS Corporation, ...