Die Grabenisolation ({enS|shallow trench isolation}, STI, auch box isolation technique) ist ein Verfahren der Halbleitertechnik zur elektrischen Isolation einzelner Bauelemente (hauptsächlich MIS-Feldeffekttransistoren) auf integrierten Schaltkreisen (IC). == Hintergrund == Die STI-Technik ist seit Jahren die bevorzugte Isolationstechnik (zur ele...