Extrem Ultraviolette Strahlung (XUV) bezeichnet den Spektralbereich zwischen ca. 10 nm und 100 nm. Dies entspricht Photonenenergien zwischen ca. 12 eV und 120 eV. XUV bezeichnet daher den Bereich elektromagnetischer Strahlung zwischen Vakuum-Ultraviolett (VUV-Strahlung) und Röntgenstrahlung. Der gesamte Spektralbereich der Extrem ultravioletten S...